Как выбрать гостиницу для кошек
14 декабря, 2021
Разработка фотоэлементов, прозрачных за длинноволновым краем основной полосы поглощения, сделала возможным получение селективности спектральных оптических характеристик с помощью покрытий, нанесенных на тыльную поверхность этих фотоэлементов, свободную от контактных полос, и почти полностью отражающих нефотоактивную часть солнечного излучения. Это позволяет понизить равновесную температуру не только тех солнечных батарей, которые укрепляются на гибкой прозрачной несущей основе, но также и солнечных батарей, монтируемых на металлической поверхности самих космических аппаратов. Недавно было показано, что для очень тонких фотоэлементов (70—100 мкм) наличие отражающего слоя на тыльной поверхности полезно также и тем, что большая часть солнечного излучения в основной полосе поглощения, проходящая сквозь тонкий фотоэлемент, за счет многократного отражения от рабочей и тыльной поверхностей в конце концов полностью им поглощается, что приводит к повышению КПД [391.
Рассмотрим специфические вопросы, возникающие при оптимизации таких селективных систем и покрытий. При расчете не будем учитывать наличия на рабочей поверхности фотоэлемента просветляющих и защитных стеклянных покрытий, которые прозрачны
и весьма слабо влияют на коэффициент отражения кремниевого фотоэлемента в области спектра 1,1—3,0 мкм. Справедливость такого допущения была подтверждена хорошим совпадением расчетных результатов с экспериментальными, полученными при отсутствии и наличии покрытий на рабочей поверхности исследованных фотоэлементов.
Не будем учитывать также наличия сильнолегированного (концентрация примеси порядка 1020 см-3), но весьма тонкого (0,5— 0,7 мкм) диффузионного слоя, поскольку ранее было показано, что такой слой в области спектра 1,1—3,0 мкм прозрачен и не влияет на оптические характеристики фотоэлемента. В связи с этим в расчетах делается допущение, что в спектральной области 1,1— 3,0 мкм кремний характеризуется только вещественным показателем преломления. Ограничимся рассмотрением нормального падения излучения па систему.
Коэффициент отражения системы кремниевая пластина — отражающий металлический слой
Амплитуда коэффициента отражения запишется в виде
= 1„ —^expt—2гф0
0 і +/0гіЄхр(— ггсро ’
где из-за комплексного коэффициента Френеля на границе кремний—металл появляется cos (/гщ/щ4л;/?і — arg Гі). Формула коэффициента отражения в виде (1.21) применима лишь к оптическим системам, каждый из слоев которых имеет интерференционную толщину. В нашем случае толщина кремниевой пластины, обозначенная Zsi, много больше “к, а значение фазового угла становится недопустимо большим и сильно зависит от небольших изменений Is і и X. Поэтому необходимо усреднить R по всем возможным значениям фазового угла.
Окончательное выражение для коэффициента отражения системы имеет вид
Коэффициент отражения системы
кремниевая пластина — антипросветляющий слой
интерференционной толщины —
отражающий металлический слой
Введение антипросветляющего диэлектрического слоя позволяет еще больше увеличить отражение от кремния в выбранной области спектра. Похожий прием — применение одного или двух антипросветляющих слоев — успешно используется в оптике для повышения отражения в видимой части спектра от стеклянных зеркал со слоем алюминия на тыльной поверхности [401. Длину волны, на которой диэлектрический слой будет антипросветляющим для границы кремний—металл, выберем из условия максимального отражения наиболее интенсивной части инфракрасного излучения, проходящего до тыльпой поверхности фотоэлемента. Вывод формулы коэффициента отражения для рассматриваемой системы основан на тех же рассуждениях, которые приведены для случая, когда нет антипросветляющего слоя.
Формула коэффициента отражения аналогична (1.22), только в этом случае г является амплитудным коэффициентом отражения при падении излучения из кремния на границу диэлектрический слой—металл. Определяется IrJ2 аналогично |г0|2:
, (2 І /і I2 + I г2 |2 + 2 | /і | | г2 | cos (лд1дАл/Х — arg г2)
1 Гі 1 " 1 + І /і І2 I r2 I2 + 2 I h I |r21 cos (Пцід4лД — arg r2) — ^
nSi —
где /і ———————- коэффициент Френеля на границе кремний—
nSi ‘ ”д
диэлектрический слой, arg/0 = 0; па — показатель преломления диэлектрического слоя; 1Л — геометрическая толщина диэлектри-
(»Д — "м)1 — I — к1 («„ — г О2 + к’1 |
42
— комплексный коэффициент Френеля на границе диэлектрический слой—металл;
Представляет интерес определить оптимальную толщину антипросветляющего слоя для фиксированной длины волны, чтобы получить возможность рассчитать максимальный коэффициент отражения.
При анализе формул (1.21) и (1.22) находим, что R —> Яшах, когда ) гх |2 —> | |п, ах, а значение | 2 максимально, когда
cos (пдїд4яД — argr2) = 1. Значение | |2 минимально, когда
cos (пд/д4лА — argr„) = —1, т. е.
Условие максимальности | |2, а следовательно, и R запишется
в виде
ид£д4лА — argr2 = + 2ят, где т = 1, 2, 3,…
Следовательно, оптимальная толщина антипросветляющего слоя для получения максимального отражения на выбранной длине волны
В обычной конструкции фотоэлемента инфракрасное излучение, прошедшее сквозь р—«-переход, поглощается сплошным тыльным контактом. Очевидно, что для беспрепятственного прохождения излучения сквозь преобразователь тыльный контакт должен. быть выполнен не сплошным, а в виде контактной сетки, занимающей возможно меньше места. В этом случае в базовом слое фотоэлемента появляется сопротивление растекания, увеличивающее последовательное сопротивление и уменьшающее КПД. Размеры и конфигурация тыльной контактной сетки должны быть оптимизированы, чтобы замена сплошного контакта на сетчатый не привела к заметному увеличению последовательного сопротивления.
Проведен расчет сопротивления базового слоя фотоэлемента при различных конфигурациях тыльного контакта:
где/гш, Лд — ширина и длина фотоэлемента; — ширина контактной полосы; L — расстояние между контактными полосами на тыльной стороне фотоэлемента; р — удельное сопротивление базового слоя кремния толщиной I.
Второе слагаемое суммы представляет собой последовательное сопротивление базы без учета растекания, первое — дополнительное сопротивление растекания из-за того, что контакт нанесен не на всю поверхность [37]. Произведение hmhA представляет собой площадь фотоэлемента и сплошного контакта.
В результате расчета определено сопротивление базового слоя /?Г) (Ом) при различных конфигурациях тыльного контакта:
Удельное сопротивление р материала базы кремниевого фотоэлемента принималось равным 1 Ом-см, толщина базы 0,05 см, площадь 10 X 20 мм, ширина контактной полосы на тыльной стороне 0,2—0,3 мм, что позволяет не учитывать сопротивление самих контактных полос.
Как видно, при контакте по периметру и с тремя поперечными полосами, занимающем всего 7—10% площади, сопротивление базового слоя практически такое же, как при сплошном тыльном контакте.
Небольшого увеличения температуры прибора из-за того, что 7—10% площади тыльной поверхности будут заняты контактами и вследствие этого непрозрачны для инфракрасного излучения, можно избежать, нанося в тех же местах аналогичную контактную сетку на рабочую поверхность. При нанесении контактных сеток методом фотолитографии такое совмещение не представляет технических трудностей. Контактная сетка на рабочей стороне может быть затем покрыта (электрохимически или испарением в вакууме) слоем металла, обладающим высоким коэффициентом отражения в области солнечного излучения, например алюминием или серебром.
Полное последовательное сопротивление фотоэлемента Ra состоит из сопротивления растекания легированного слоя Лл, сопротивления базы Rq и переходного сопротивления контактов металл—полупроводник R,{:
Rn — Rn + Вб + Як
В работе [38] было показано, что КПД фотоэлемента начинает заметно уменьшаться, если последовательное сопротивление Ra становится больше 1,5—2,0 Ом. Нанесение на рабочую поверхность контактных полос с шагом 4—5 мм или сетки с ячейкой 10 X 10 или 5 X 10 мм позволяет уменьшить сопротивление растекания легированного слоя толщиной 1—1,5 мкм до долей ома. Переходное сопротивление контактов металл—полупроводник у серийных фотоэлементов благодаря операции термообработки составляет сотые доли ома.
Таким образом, при тыльном контакте по периметру и с тремя поперечными полосами вклад сопротивления базы (0,07 Ом) в общее последовательное сопротивление незначителен. Общее по
следовательное сопротивление фотоэлемента, прозрачного в инфракрасной области солнечного спектра, не будет выше 0,5 Оді, что позволит электрическим параметрам остаться на исходном уровне параметров непрозрачных фотоэлементов со сплошным контактом.
Результаты расчета хорошо согласуются с экспериментом (см. главу 2). Дальнейшее усовершенствование конструкции фотоэлементов, прозрачных в инфракрасной области солнечного спектра, показало, что они могут быть созданы и из таких полупроводниковых материалов, как монокристаллический арсенид галлия, и из поликристаллических пленок гетеросистемы Cu2S—CdS. Кроме этого, использование фотолитографии позволило получить контактные сетки, занимающие не более 5% площади как рабочей, так и тыльной поверхностей фотоэлементов при ширине полос 0,03—0,05 мм и расстоянии между ними 1—2 мм. Это привело к получению общего последовательного сопротивления таких фотоэлементов, не превышающего 0,08—0,1 Ом даже при толщине легированного слоя менее 0,5 мкм.
1.4.
Прежде всего необходимо было выяснить, какая часть инфракрасного излучения поглощается в легированном слое различной толщины со среднеслоевой концентрацией свободных носителей заряда (1 — і — 2)-102° см-3, поскольку базовый слой фотоэлементов с концентрацией носителей заряда 1016 см-3 [30] при толщине, характерной для фотоэлементов (200—500 мкм), несомненно, прозрачен для инфракрасного излучения. Трудность оценки влияния легированного слоя на коэффициент пропускания фотоэлементов состояла в том, что в литературе отсутствуют данные по оптическим константам п (к) и к (к) сильно легированного кремния (концентрация носителей заряда выше 2-Ю19 см-3). В связи с этим нами были определены оптические константы в сильнолеги — роваппом кремнии. При этом было сделано допущение, что сильнолегированный слой фотоэлементов легирован равномерно по всей глубине и имеет концентрацию примеси, равную 2-Ю20 см-3.
Расчет был проведен в соответствии с методикой, предложенной в работе [35]:
Ex = п2 (X,) — А2 (к)‘ „ /1 1 f 1 + Д (к) п(Ч — 2 1 — R (к) к (к) = [п2 (X) — Ех]1/2. |
/ Се2 •
El —• Єо — •
+ [(-£ЗШ*+2<*-*>ГЬ
Коэффициент отражения сильнолегированной полированной поверхности R (к) кремниевых фотоэлементов был тщательно измерен в интервале спектра 1,0—3,0 мкм, и полученные данные использованы в расчетах.
Вычисленные по приведенным выше формулам значения оптических констант п (Я) и к (X) слоя сильнолегированного кремния (до концентрации 2-1020 см-3) представлены в табл. 1.4.
Таблица 1.4 Оптические константы сильнолегнрованного кремния
|
Следующий этап расчета состоял в выводе формул для коэффициентов пропускания и отражения кремниевого фотоэлемента.
Представим фотоэлемент в виде двухслойной системы без каких-либо просветляющих и контактных слоев: тонкий слой сильнолегированного кремния — базовая область. В такой системе сильнолегированный слой имеет интерференционную толщину и комплексный показатель преломления, а базовая область — неинтерференционную толщину и вещественный показатель преломления. Как показывают расчет и эксперимент, полированные с обеих сторон кремниевые пластины толщиной 200—500 мкм с удельным сопротивлением 1,0 Ом-см практически не обладают поглощением в области спектра 1,1—3,0 мкм.
Амплитудный коэффициент пропускания системы запишется в виде
f = g«h exp (— ttPi)
0 1 + /(A exp (— ї2фі) ’
2л
где фх == — т— Іл{Щі — ікя); Ія, пя, кл — фазовая толщина, геометри-
ческая толщина, показатели преломления и поглощения сильноле- гированного слоя кремния соответственно.
Коэффициент пропускания системы определяется как | 12 =
= t<,t*, гДе *о — величина, сопряженная t„, т. е.
h |2 = | go I21 /і |2 exp(— Лтлгл4яА)/[ 1 + 1 /оГ | А|2ехр (—Алгл8я/А,) + + 21 /о | | а | cos (пл1лАп/К — arg/0 — arg а) ехр (— кл1лАя/К)]. (1.18)
Здесь коэффициенты Френеля на границе воздух—сильнолегиро — ванный кремний
_________________ 2 п0 .
ё° «о + »л-і/сл ’
Амплитудный коэффициент пропускания на границе сильнолегированный кремний—базовый слой кремния
А*гехр(— in6l62nfk) tx ~ 1 + /ігг exp (— ія6!б4яА) ’
амплитудный коэффициент отражения на той же границе _ /і + г2 ехр (— ІП6ІбАл/Х) _
Гі ~~ 1+ / 1Г2 ехр (— і6пбІб4п/1) ’
и I2 ___________________ I 12 I ‘г Iа_____________________
1 + І /і Iа Іг2 Iа + 2 I /j 11 r2 I COS (лб*б4яД — arg /, — arg r2) >
I /1 Iа + І г2 Iа + 2 I /„ I I r2 I cos (nal6in/k + arg fr — arg r2)
1 — г І /і Iа I r2 I2 + 2 I /j I I r2 I cos (ибгб4лД — arg /, — arg r2) ’ где коэффициенты Френеля
Значения t2 и r2 находятся из граничных условий через коэффициенты Френеля на границе кремний—воздух:
2л л
«6 +"о ’
Толщина базового слоя кремния во много раз больше толщины слоя силыюлегированного кремния и является неинтерференционной, так как Iq Я. Так как ср = лб/й4я/Я сильно зависит от небольших изменений 15 и Я, формулы не отражают действительной физической картины взаимодействия излучения со средой. Поэтому необходимо усреднить | J2 И I | ^ по всем возможным значениям <р, т. е. по периоду 2л.
Запишем | t1|2 и | гх| 2 в виде
І, 12 _ _______________ І*і Iа! «2 Iа_____________ .
111 ‘ ‘ + l/il*|r*|* + 2|/1| 1 ra I cos (ф — Р) ’
I _ I* _ І /і I2 + 1 г-212 — Ь 2 I /г | |г2|Соя(ф + Р)
1 11 і-і-І/іІЧгаР + гіПІ 1Г*|С08(Ф-Р) ’
где р = агgfL.
Учитывая, что cos (ср — 3) — cos ср cos [3 + sincpsin р, обозначим
а = 1 + | /112 |г212; Ь= 2П |r2|cosp; с = 21 f, | | г, | SLn р.
Тогда
к, |* =________ Щ’М_____________ .
11 а + Ь cos ф + с sin ф ’
2Л 2П
о о
Необходимо вычислить интеграл
2Я
1 I" __________ Йф________
2л j а + b cos ср — f — с sin ф ’ о
если а2 — Ъ2 — с2 0.
В данном случае
а*_Ь*_с2 = 1 + 1/і|1|Г2|4+2|/1|2|г2|2- — 41 /і I2 I r212 (cos2 P + sin2 P) = (1 — I ft I21 r212)2 > 0.
Заметим, что при ср = л производная меняет знак, поэтому необходимо обойти эту точку по дуге малого радиуса 6, а затем принять 6 —»• 0:
2Я Я—6
_±_ С _______ <*ф_______ = С <*ф_ ,
______ йф^_______ _ 1 4- Ь cos ф 4- с si її ф 2л (а2 (а — Ь)Ц[(я — 6)/2] 4-г _ (а2 — b2 — (а — Ь) tg [(л 4- 6)/2] + с 1 (а2 — й2 — с2)1’2 J " tg [(л — б)/2] = — tg [(я |
2л J а + b cos ф с sin ф j а + Ъ соа}ф + с sin ф о п
2Я
1 С _____________ йф________________________ 1______
2л J а 4- b cos ф 4- с sin ф (а2_________ ь2__ с2)1^2
о v ‘
Подставив значения а, Ь и с, получим
__________ 1___________ ______ _________ 1
(я2 — Ь2 — (2)1/2 1 — I h I2 I r2 I2
Таким образом,
I. і 2 _ I Si I21 h I2
Iі! I yep — 1 _ |/г |2 j r2 j2 ■
После усреднения по всем возможным значениям ф при условии а -(■ Ъ cos ф с sin ф 0 выражение для 1^1® примет вид
і. и 4 (1 — І /і I*)(1 — Iг*I*) — 41 Л |*|г.|*sin»(arfr/,)
1 1|уср " 1-І h І2 Іг212 •
Докажем справедливость неравенства а + b cos ф + с sin ф > 0.
Произведя замену переменной х = tg (ф/2), получим
или
(а — Ь) х2 + 2сх1 + а Ъ 0.
Поскольку
а*_6*-с* =(1 -|Л I2 f r2 J2)2 > 0, дискриминант квадратного трехчлена отрицателен
4с2 — 4 (а2 — Ь2) < 0.
В силу того, что а Ь, исходное неравенство выполняется при любых значениях ф.
Вернемся теперь к определению J г01 2 (1.18). Заметим, что arg Г! по вышеуказанным причинам сильно зависит от малых изменений X и /б, следовательно, чтобы получить коэффициент пропускания Г, необходимо |10| 2 усреднить по всем значениям arg?^, т. е. по периоду.
Обозначил:
1лпл — arg /о = фл; arg гх = Pi.
Далее везде вместо 1^1 и | П| используются значения | уср
а — Ъ — с = 1 + | /о |41 и |4 exp (— Алгл16я/А.) 4- + 2 f /„ I* I r, Iа exp (- каІя8яД) — 41 /о І21 Гі I® x X exp (— клІл8п/К) (cos2 P) + sin2 pt) =
= [1 — І /о I2 b I2 exp (— /сл/л8яА))2 > О.
В окончательном виде коэффициенты пропускания и отражения всей системы
I go I2! h I2 exp (— каІлАп/к) 1-|/о|2Ы2ехр(- *пІл8лА) [2]
R = 1 —
_ (1-І /о |2)[1—к I2 exp (—А-лгл8лД)]-4 І /о I2 I г, I® exp (—Vj8nA)sin®(arg /„) _ і — I to I2 I ri Iа exp (— кліл8л/Х)
(1.20)
Используя выведенные формулы (1.19) и (1.20), рассчитанные оптические константы сильнолегированного слоя (см. табл. 1.4) и известные константы базовой области [30], можно определить спектральные зависимости коэффициентов отражения R, пропускания Т и поглощения А (А = 100%—R — Т) для различных значений толщины сильнолегированного слоя. Полученные расчетные данные представлены на рис. 1.5, из которого видно, что пропускание и поглощение фотоэлемента сравнительно слабо отличаются от пропускания и поглощения чистого кремния при толщине сильнолегироваиного слоя менее 1,0 МІШ.
Таким образом, для получения максимальной прозрачности фотоэлемента необходимо уменьшать толщину легированного слоя, и это требование совпадает с основной тенденцией в улучшении электрофизических характеристик фотоэлементов, поскольку при уменьшении глубины залегания р — «-перехода большая часть света поглощается в базовом слое с большой диффузионной длиной, что приводит к увеличению коэффициента собирания и КПД преобразования солнечной энергии. Из расчетов, проведенных, например, в работе [36], видно, что при уменьшении глубины залегания перехода с 2,0 мкм до 0,5 мкм выходная мощность может быть увеличена на 30—70% (в зависимости от профиля концентрации примеси в легированном слое). Из рис. 1.5 ясно, что такое уменьшение глубины залегания перехода позволяет также на 7— 9% уменьшить поглощение инфракрасной радиации с длиной волны 2—2,5 мкм.
Теоретически и экспериментально удалось показать, что конструкция полупроводниковых фотоэлементов может быть оптимизирована таким образом, что практически вся инфракрасная часть солнечного излучения за краем основной полосы поглощения полупроводника (для кремния от 1,1 до 2,5 мкм) начнет проходить беспрепятственно сквозь фотоэлемент. Солнечное излучение с к 1,1 мкм будет поглощаться в полупроводнике во многом благодаря эффективным просветляющим покрытиям, а для теплового собственного излучения с к > 3 мкм поверхность фотоэлементов будет высокоизлучающей из-за свойства верхнего слоя оптического стекла поглощать в области спектра к 2,5 мкм. Такая селективность по спектру интересна не только своей сложностью и необычностью, но также и тем, что для ее получения необходимо использовать не только селективные оптические покрытия, но и сделать селективно прозрачным сам активный элемент преобразователя солнечной энергии — полупроводниковый фотоэлемент.
Подобный подход потребовал проведения детальной теоретической оптимизации не только оптических, но и электрофизических свойств фотоэлементов, поскольку необходимо было добиться требуемой селективности без ухудшения КПД преобразования солнечной энергии.
Расчет целесообразно начать со случая использования наиболее распространенных кремниевых солнечных элементов без приклеиваемого защитного стекла, когда внешней средой служит воздух с показателем преломления п0 = 1 (при применении солнечных
У. мкА/мВт РИС. 1.1. Спектральная зависимость коэффициента отражения (1) и абсолютная спектральная чувствительность (2) непросветленного кремниевого фотоэлемента с полированной поверхностью и мелким р—re-переходом (толщина п-слоя 0,7 мкм) |
элементов в качестве индикаторов излучения, в системах ориентации, для питания малогабаритных радиоприемников и т. д.). Исходными характеристиками при расчете служили спектральная зависимость коэффициента отражения и спектральная чувствительность (отношение тока короткого замыкания при данной длине волны к единице падающей энергии излучения) непросветленного кремниевого фотоэлемента с полированной поверхностью и глубиной залегания р — п-перехода менее 1 мкм и повышенной чувствительностью в коротковолновой области спектра (рис. 1.1).
Более подробно методика расчета эффективности просветления фотоэлементов описана в главе 2. Здесь лишь укажем, что по виду кривых отражения после просветления (особенно многослойного) возможно оценить прирост КПД фотоэлементов. Самым объективным методом оценки, на наш взгляд, служит сравнение спектральной чувствительности фотоэлементов с различными просветляющими покрытиями после того, как спектральная чувствительность просветленных фотоэлементов пересчитана с учетом распределения энергии в спектре данного источника излучения, например в спектре внеатмосферного Солнца, и определено увеличение интегрального тока фотоэлементов при освещении этим источником излучения.
Была рассмотрена возможность использования для просветления двухслойных систем с кратными значениями оптической толщины слоев, полученных в результате оптимизации [28]. При выполнении указанных в работе [28] соотношений между показателями преломления слоев многослойных покрытий на кривой отражения можно получить один или несколько минимумов, где коэффициент отражения равен нулю. Расчеты спектральных характеристик в работе [28] были проведены для стекла (показатель преломления пст ~ 1,51) в видимой области спектра и для гер
мания (пос = 4,0) в средней инфракрасной области спектра, но качественно результаты расчетов могут дать представление о характере распределения коэффициента отражения кремния в видимой и ближней инфракрасной области после просветления аналогичными покрытиями.
Решение уравнений, определяющих коэффициент отражения поверхности с двухслойным покрытием при одинаковой оптической толщине обоих слоев, позволило определить два оптимальных соотношения между показателями преломления слоев:
nln3 = пп0 (1.11)
и
?г1п2 = п0п3, (1.12)
где и1, /г2, п3, По — показатели преломления внешней и внутренней просветляющих пленок, подложки и внешней среды (воздух) соответственно.
При оптической толщине каждого слоя, составляющей нечетное число A. mj„/4, гдеЯщіп — длина волны, соответствующая минимуму коэффициента отражения, выполнение соотношения (1.11) позволяет получить кривую отражения с одним нулевым минимумом. При выполнении соотношения (1.12) могут быть получены два нулевых минимума на спектральной кривой отражения, причем в точке максимума (между этими двумя минимумами) оптическая толщина каждого слоя равна Хтаї/4.
Расчет показывает, что если пг принять равным 2,8 при X = = 0,6 мкм, как у пленок двуокиси титана ТЮ2 (значение показателя преломления кремния при этой длине волны в соответствии с данными работы [30] составляет 3,94), то для выполнения соотношения (1.11) показатель преломления внешней пленки двухслойного покрытия пг должен быть равен 1,4. Напомним, что /iMgF„ = = 1,38 и nSio, = 1,45.
Соотношение (1.12) выполняется, если пг = 1,6, пг = 2,5. Однако такое двухслойное покрытие будет давать значительное отражение в точке максимума отражения между двумя нулевыми значениями. Значение коэффициента отражения после нанесения двухслойного покрытия в максимуме может быть рассчитано по формуле
/ пп3 — npi0 ,‘-
ЛХ/4 = |——- ;—п— ‘
V 4- ппо ‘
В работе [28] подробным расчетом спектральных кривых отражения германия (п$е = 4,0) в инфракрасной области спектра было показано, что величину максимума коэффициента отражения можно значительно снизить, выбрав пленки с пх = 1,35 и щ = 2,3 вместо п1 — 1,6 и щ = 2,5. Вся кривая отражения располагается ниже,
хотя нулевые значения коэффициента отражения не наблюдаются при этом ни в одном из двух минимумов. Очевидно, что для решения нашей задачи — получения низкого значения коэффициента отражения в широкой области спектральной чувствительности солнечных элементов такое двухслойное покрытие является наиболее подходящим. Из проведенных предварительных оценок ясно, что наиболее широкую область низкого отражения для полупроводникового материала с высоким показателем преломления можно получить, используя двухслойное просветляющее покрытие, у которого ближний к полупроводнику слой имеет показатель преломления п% = 2,3, а внешний — = 1,35 — г-1,4. В случае, когда
оптическая толщина каждого слоя равна Я./4, при длине волны к будет наблюдаться небольшой максимум коэффициента отражения.
Проведен расчет спектральной кривой отражения кремния после просветления двухслойным покрытием из пленок сернистого цинка (п%пs = 2,3) и фтористого магния («MgF2 — 1,38) различной оптической толщины. Для сравнения был проведен расчет коэффициента отражения кремния после просветления однослойными покрытиями из ZnS и моноокиси кремния SiO, а также двухслойными покрытиями из SiO (nsio = 1,9) и MgF2. В расчетах учитывалась дисперсия показателей преломления Si и пленок ZnS и SiO [30—32]. Некоторые из использованных в расчетах значений показателей преломления Si, ZnS и SiO представлены в табл. 1.1.
Таблица 1.1 Показатели преломления мкм
|
Расчет проведен с использованием рекуррентных соотношений для амплитудного коэффициента отражения [21, 22]. Для двухслойной системы, изображенной па рис. 1.2, были использованы расчетные формулы (вывод их из уравнений Максвелла дан в 1.1):
/о + Г, ехр(—2іф!) .
° і + /огі ехР (— 2іфі) ’
/і + Г2ехр(— 2Дрг)
1 1 +/lr2 ехр (-2іфг) ’
где г о — амплитудный коэффициент отражения, соответствующий границе воздух — верхний слой просветляющего покрытия; rt — амплитудный коэффициент отражения на границе верхнего и нижнего слоев просветляющего покрытия.
РИС. 1.2. Схема двухслойного просветляющего покрытия на кремнии (без внешнего слоя стекла)
Френелевские коэффициенты отражения на границах сред—
где п01 rclt п2, пз — показатели преломления воздуха, внешнего и внутреннего слоев покрытия и кремния соответственно. Фазовая толщина пленок:
І /о I2 + I ri I2 + 2 І /о I 1 Г11 cos («A43T//Q 1 + І /о І21 гі I2 + 2 | /„ I I ri I cos (iiiliiлД)
Полученные в результате расчетов спектральные зависимости коэффициента отражения кремния с двухслойными покрытиями представлены на рис. 1.3. Для сравнения приведены расчетные кривые отражения после нанесения однослойных покрытий ZnS и SiO. Сравнение кривых показывает, что наиболее широкую область низкого отражения удается получить с помощью двухслойных покрытий из пленок ZnS и MgF2. Этот вывод подтверждается расчетом плотности тока короткого замыкания /„.3. фотопреобразователей на внеатмосферном Солнце после уменьшения коэффициентов отражения в соответствии с кривыми рис. 1.3. Результа-
/?,
fff
4а
sa
га
га
о
4а sa га /а о
sa га аа о
4а
sa
га
га
о
га ла о
а,4 а, а а, а а, г а,8 а, а /,а /,г а, г
Я, мкм
Таблица 1.2 Расчетная эффективность однослойных и двухслойных просветляющих покрытий кремниевых фотоэлементов (условия АМО) |
||
Оптическая система |
JK з» мА/см* |
■ІК. З — J’k.3 о/ I’ ’/0 J к. з |
Si полированный непросветленный |
28,6481 |
0 |
Si + ZnS (і = 0,07) |
36,5794 |
37,3 |
Si + SiO (і =0.07) |
37,8943 |
41,2 |
Si + ZnS + пленка c n! = l,38 (d1=rf2 = = 0,15) |
40,0038 |
50,1 |
Si + ZnS + пленка c nx = 1,38 (rfj + d2 = = 0,12) |
39,5006 |
48,2 |
Si + ZnS + пленка c = 1,38 (^ = 0,17, d2 = 0,12) |
39,259 |
47,3 |
Si + пленка c na = 1,9 + пленка с nx = = 1,38 (d2 = dx = 0,15) |
38,1725 |
43,2 |
Si + пленка c n2 = 1,9 + пленка c nx = = 1,38 (d2 = dx = 0,12) |
38,4856 |
44,4 |
Примечание, d, 1 в микрометрах; J’K 3 — плотность тока короткого замыкания до просветления. |
ты расчетов сведены в табл. 1.2, из которой видно, что двухслойное покрытие из пленок ZnS и MgF2 дает возможность приблизительно на 10% увеличить интегральный ток фотоэлементов но сравнению с разработанными ранее однослойными покрытиями из ZnS и SiO 133, 34] и на 5% по сравнению с двухслойными покрытиями SiO+ +MgF2. При форме вольт-амперной нагрузочной характеристики фотоэлементов, близкой к прямоугольной (что характерно для приборов с резким барьером на р — га-переходе и низким последовательным сопротивлением), возрастание КПД при просветлении соответствует росту тока короткого замыкания, что было обнаружено экспериментально. Поэтому следует ожидать увеличения КПД солнечных батарей примерно на 50% при использовании двухслойных просветляющих покрытий ZnS+MgF2.
Низкое отражение (менее 1%) получено при использовании этих покрытий в интервале спектра от 0,5 до 1,1 мкм (рис. 1.3), т. с. почти во всей области спектральной чувствительности фотоэлементов (см. рис. 1.1). Из этого следует вывод, что данное покрытие является наиболее эффективным просветляющим покрытием для солнечных батарей, работающих в условиях, когда внешний слой лака или стекла не требуется.
Предварительный расчет для случая, когда внешним слоем просветляющих покрытий является полубесконечный слой защитного лака или стекла, был проведен с использованием выведенных в работе [28] соотношений между показателями преломления многослойных покрытий, приводящих к появлению на спектральных кривых точек нулевого отражения, и с заменой внешней среды с п0 = 1,0 (воздух) на среду с п0 = 1,5, что характерно для большинства полимерных прозрачных лаков и неорганических стекол. Следует отметить, что рассматриваемый случай является основным для современного применения солнечных элементов.
Оптимальный показатель преломления просветляющего слоя в случае двухслойного покрытия пленка — стекло определяется из соотношения
п = п0п3.
При X = 0,6 мкм и п0 = 1,5 будем иметь Hj = 2,45.
Напомним, что «zns = 2,34 при X = 0,6 мкм, но при X = = 0,4 мкм уже равен 2,56 (см. табл. 1.1), в связи с чем эта просветляющая пленка является оптимальной в данном случае.
Для трехслойных покрытий — два просветляющих слоя и стекло — расчет должен быть проведен по формулам (1.11) и (1.12) с заменой п0 = 1 на п0 = 1,5.
Расчет по формуле (1.11) при п0 = 1,5, п3 = 4 показывает, что если задать п2 = 2,7, то тгх должен составлять 1,65, если же п2 = = 2,5, то п1 = 1,53. Это означает, что любое покрытие этого типа не будет лучше, чем двухслойное покрытие с пленкой, имеющей п = 2,3, и верхним слоем из стекла или лака (этот вывод затем был подтвержден экспериментально).
Расчет по формуле (1.12) при па = 1,5, п3 = 4 и п2 = 2,6 показывает, что пг должен быть равен 2,3. Однако величина максимума между двумя минимальными значениями на кривой отражения, которая может быть подсчитана по формуле (1.13), будет в этом случае значительной (12,5%). Вероятно, более пологой кривой с размытым максимумом можно добиться использованием двух просветляющих пленок с меньшими показателями преломления. Поэтому при расчетах спектральных характеристик были исследованы также трехслойные системы, имеющие просветляющие слои с показателями преломления 2,6 и 2,3, а также 2,3 и 2,1; 2,3 и 1,9; 2,3 и 1,7.
Показатели преломления трехслойных покрытий должны отвечать соотношению
7грг3 = nl = п0п4, (1.17)
если оптическая толщина каждого из трех просветляющих слоев равна Amin/4. При выполнении соотношения (1.17) трехслойное покрытие должно характеризоваться широкой областью низкого отражения и тремя нулевыми минимумами на спектральной кривой коэффициента отражения — центральным при Amin и по одному с каждой стороны от Amln. Если выбрать в качестве Amin, например, X = 0,77 мкм (учитывая, что область низкого отражения будет широкой) и при этом п0 = 1,5, щ = nsi = 3,7, то соотношение (1.17) будет удовлетворяться при п3 = 2,6, п2 = 2,35, щ = 2,1, что совпадает с показателями преломления просветляющих пленок Ті02, Се02 (или ZnS), Zr02. Близкие по характеру кривые отражения позволяют получить покрытия с соответственно уменьшенными показателями преломления, хотя коэффициент отражения в минимумах в этом случае не будет равен нулю.
Расчет многослойных покрытий упрощается, если оптическая толщина какого-либо из слоев кратна Х/2— наличие такого слоя не сказывается на значениях показателей преломления остальных слоев, которые в этом случае могут быть найдены, например, для четырехслойных покрытий по соотношениям, полученным для трехслойных покрытий и т. д. Это открывает возможность использования в качестве слоев с толщиной, кратной Х/2, пленок с низкими показателями преломления. При этом значительно упрощается процесс нанесения многослойных покрытий, так как наибольшую трудность при экспериментальном воспроизведении представляет получение прозрачных слоев с высоким показателем преломления. Однако, как это было обнаружено при расчетах и экспериментах, крутизна минимумов и максимумов кривой коэффициента отражения при этом резко увеличивается, и для снижения отражения в широкой области спектра такие покрытия в большинстве случаев непригодны.
С помощью специально составленной программы для электронно-вычислительной машины были рассчитаны многослойные покрытия не только с различным количеством слоев, но и с различными значениями оптической толщины каждого слоя, в том числе и с не кратными Amin/4. Однако для разработки хорошо воспроизводимой технологии просветления наибольшее значение имели такие покрытия, толщина каждого слоя которых кратна A, min/4. Их расчету и было уделено наибольшее внимание.
Показатели преломления пленок выбирались с таким расчетом, чтобы они совпадали с показателями преломления слоев, которые можно нанести экспериментально, а все покрытие в целом представляло бы собой ступенчатую систему, в которой показатели преломления слоев уменьшаются последовательно от кремния до внешнего слоя — стекла.
Просветляющие покрытия с большим числом слоев не рассматривались, так как их нанесение в условиях серийного производства фотоэлементов, что важно для развития солнечной энергетики, неоправданно усложнило бы технологию.
Расчет спектральных кривых проводился с помощью рекуррентных соотношений, аналогичных соотношению (1.14), число
которых было равно числу слоев в выбранных для расчета покрытиях. Коэффициенты Френеля определялись на каждой границе раздела. Каждый из слоев считался прозрачным, и показатели преломления были вещественными.
Наличие внешнего полубесконечного слоя лака или стекла требовало усреднения коэффициента отражения по фазовому углу (иначе фазовой толщине внешнего слоя) в формуле (1.16), применимой лишь к оптическим системам, каждый из слоев которых имеет интерференционную толщину. В рассматриваемом случае толщина слоя лака или стекла, обозначаемая 1г (на практике составляющая 120—150 мкм), много больше длины волны X. Значение фазового угла ер! = становится при этом недопустимо большим
и сильно зависящим от небольших изменений 1Х и X. Это означает, что формула (1.16) не отражает реальной физической картины взаимодействия световых пучков в рассматриваемой системе, содержащей слой неинтерференционной толщины. Чтобы обойти указанную неточность, было необходимо усреднить коэффициент отражения по всем возможным значениям ф1; т. е. по периоду от 0 до 2 л. В результате усреднения, как будет подробно показано в 1.3,
(I —|/о Iі) (1-І г, Р)
1-|/„12К I2
Некоторые из полученных расчетным путем спектральных зависимостей коэффициента отражения представлены на рис. 1.4. Используя расчетные кривые, спектральную чувствительность, типичную для серийно выпускаемых кремниевых фотоэлементов (см. рис. 1.1), пересчитали на плотность тока короткого замыкания при работе в условиях внеатмосферного солнечного излучения. Расчет был проведен на электронно-вычислительной машине. Результаты расчета многослойных просветляющих покрытий (для случая, когда внешним слоем является полубесконечный слой стекла или лака) приводятся в табл. 1.3.
Из данных табл. 1.3 можно сделать вывод, что трехслойные покрытия с п3 ~ 2,3, п2 = 1,7, пг = 1,5 или шестислойные покрытия из слоев с /г6 = 2,6 или 2,7, пъ = 2,3, п4= 2,1, па — 1,9, п2 = 1,7, = 1,5 обеспечивают увеличение тока короткого замы
кания практически такое же, как двухслойное покрытие из пленки ZnS (I = 600 А) и стекла. Этот вывод имеет большое практическое значение. Он означает, что не нужно усложнять технологию производства фотоэлементов из кремния с гомогенным р—и-перехо — дом, вводя в нее нанесение четырех-, пяти — или шестислойных покрытий. Между полупроводником и внешней средой с показателем преломления п = 1,5 достаточно создать просветляющую пленку ZnS с геометрической толщиной около 600 А, чтобы почти
Аг мкм РИС. 1.4. Расчетные спектральные зависимости коэффициента отражения кремния с многослойными просветляющими покрытиями и внешним слоем стекла нлп лака (nj = 1,5) пеинтерфсренционной толщины а, б — п2 = 7»2nS А), пз = raSi А) и 4= 0,14 мкм (a), d2 = 0,2 мкм (б); я — тг2 = 1,7 т»з = r>znS А), я* = nSi W, <!• = 0,1(! мкм, d3 — 0,12 мкм; г, д — п2 = 1,7, п3 = 1, 9, п, = 2,1, Пц = 2,3, п9 = 2,7, и, = ngj (>.) и d2 = d3 = d4 = d3 = d, = 0,12 мкм (г), d2 = d3 — dt = d2 = dt = 0,15 мкм (3) |
на 45% увеличить ток короткого замыкания и КПД фотоэлементов.
В заключение необходимо отметить, что основной целью данного раздела было изложение методики расчета эффективности просветляющих покрытий для полупроводниковых фотоэлементов. Совершенно очевидно, что при изменении исходных данных (кривой отражения и спектральной чувствительности фотоэлементов, приведенных на рис. 1.1), например при уменьшении глубины залегания р — «-перехода, замены полированной поверхности на микрорельефную или использовании для создания фотоэлементов других полупроводниковых материалов вместо кремния, например арсенида галлия GaAs или сульфида кадмия CdS, результаты конкретных расчетов, приведенные в табл. 1.2 и 1.3, примут
Таблица 1.3
Расчетная эффективность многослойных просветляющих покрытий
кремниевых фотоэлементов
(верхний слой — прозрачное стекло или лак непнтерференцнонной толщины
с л, = 1,5; и„= 1; АМО)
Оптические параметры покрытии |
JK 3, мА/см! |
J«- 3 JK.3 0/. |
У |
||
к. 3 |
«з — 2,3, п2 — 1,7, (із = 0,1, d2 = 0,2 |
37,142 |
39,4 |
|
«з = 2,3, «2 = 1,9, d3 = 0,1. d2 = 0,2 |
36,0905 |
35,4 |
|
«З = 2,3, «а = 2,1, £/3 = 0,1, с? а = 0,2 |
35,9 |
34,7 |
|
«з = 2,3, п2 = 1,7, d3 = 0,12, d2 = 0,16 |
38,159 |
43,2 |
|
«з = 2,3, «2 — 1,7, d3 = 0,12, d2 = 0,2 |
37,4861 |
40,1 |
|
«з я® 2,3, п2 = 1,7, (/3 = 0,15, d2 = 0,12 |
37,8499 |
42,0 |
|
«з = 2,3, «2 = 1,7, d3 = 0,12, d2 = 0,1 |
37,7325 |
41,6 |
|
«4 = 2,6, «3 = 2,3, «2=1,7; d4 = 0,12, da=0,12 |
<*з = 0,16, |
37,8407 |
42,0 |
ne = 2,6, «6 = 2,3, «4 = 2,1, «з=1,9, ^ d§ = d4 = d3 — d2 = 0,15 |
«2=1,7, |
35,4683 |
33,1 |
ne = 2,6, «5 = 2,3, «4 = 2,1, «з=1,9, C?6 “ СЇ5 —— C?4 = (/fj ‘—" £^2 — 0,12 |
л2= 1,7, |
38,1753 |
43,3 |
ne = 2,5, «6 = 2,3, «4 = 2,1, лэ = 1,9, c?6 = (i3 — (/4 = d9 = d2 = 0,12 |
«2= 1,7, |
37,8228 |
41,9 |
«6 = 2,7, «5 = 2,3, «4 = 2,1, «з=1,9; <ig = dj -— (І4 — cf3 — — 0,12 |
н2 = 1,7, |
38,3524 |
43,9 |
«e = 2,6, «5 = 2,3, «4 = 2,1, «3 = 1,9, = c?4 = d3 = (^2 = 0,1 |
«2 = 1,7, |
37,8822 |
42,2 |
«3 —— «2 — «2ns (^)i ^2 ” 0,12 |
37,4341 |
40,5 |
|
Л3 = Wgj (), й2 = ,!zns W’ <*2 = 0,13 |
37,4416 |
40,6 |
|
n3 = rasi(X), n2=«zns(>’)- <*2=0,14 |
38,1237 |
43,2 |
|
Лз=n2=«znsW’ <*2 = 0,15 |
37,8036 |
41,9 |
|
«3 = n2 = wZnS (^)’ <*2 = 0,16 |
37,5976 |
41,1 |
|
n, = ngj(?.), Л3 = n2ng (^.), ^2=1,7, d3 d2= 0,13 |
= 0,12. |
37,9936 |
42,6 |
Непросветленный фотоэлемент Примечание, d в микрометрах. |
26,6481 |
0 |
другие значения. Важен основной вывод: описанная здесь методика расчетов позволяет объективно определить оптимальные просветляющие покрытия для любых разновидностей полупроводниковых фотоэлектрических преобразователей солнечного излучения в электрическую энергию.
1.3.
Определение коэффициентов отражения, пропускания и поглощения многослойной системы с точки зрения электромагнитной теории сводится к решению граничной задачи, т. е. к определению стационарных амплитуд векторов напряженности электрического и магнитного полей на всех границах многослойной системы при падении световой волны с определенными характеристиками. Все энергетические соотношения и фазовые изменения выражаются через векторы поля [27].
Будем рассматривать случай нормального падения света и выведем для него основные соотношения. Затем с помощью введения соответствующих обозначений и определений эту форму решения сделаем пригодной и для расчета наклонного падения.
Допущения: 1) падающий свет описывается линейно-поляризованной монохроматической плоской волной; 2) ширина пучка много больше длины волны.
Первое допущение не ограничивает общности задачи. Второе же допущение о ширине луча исключает дифракционные эффекты.
Оптические свойства каждого слоя полностью описываются комплексным показателем преломления Nj = n;- — ikj (у = 1, 2, З, . . ., ш + 1) и геометрической толщиной lj. Величина kj может быть равна нулю, если в слое пет поглощения.
Внутри многослойной системы возникают интерференционные эффекты вследствие существования отраженной и прошедшей волн в каждом слое, за исключением последней, полубесконечной среды (в том числе полностью поглощающей в данной области спектра), где существует только прошедшая волна. Последнее обстоятельство обеспечивает граничное условие для решения уравнений Максвелла в (т + 1)-й среде.
Можно показать, что в случае нормального падения векторы электрического и магнитного полей для всех волн в каждом слое перпендикулярны друг другу и направлению распространения и, кроме того, волны однородны. Последнее означает, что электрическое и магнитное поля имеют только компоненты, параллельные границам раздела, и что плоскости постоянной амплитуды и плоскости постоянной фазы в любом поглощающем слое совпадают.
Решение уравнений Максвелла для электрического и магнитного полей в у-м слое запишется в виде
(1.1)
Я (Z, т) = я (z) eimT = Nj |vj exp [i (cot——— NjZ + j —
-^exp [г (cor+ b yvjz + 6j) ]} , (1.2)
где t время; z — координата в направлении распространения излучения; у}, г|)у, £г, 6— постоянные, которые выбираются из условий непрерывности Е (г) и Н (z) на каждой границе раздела.
Это означает, что
У і ехР [* — -1ГNizi) ] + Ф) ехР [ ■1 («і + — Т — NjZj) ] =
= Tj+i ехР (іл-i———————— 5T~^+lZj)]
+ tj+iexp [і (б;Ч1 + -^L^j+1z/)] ; (1.3)
Nj |vjexp [і fa — -^LyVjZ,-)] — ifcexp [і (б,- + — TT7^)]} =
= Nj+i |vi+i exp К і (іі+1 — ~ Nj+1Zj) —
— xJjj+i exp [t (6j+1 + ~Nj+lZj} } . (1.4)
На то-й границе i(Vi-i = 0.
Решение позволяет однозначно определить электрическое и магнитное поля в любой точке многослойной системы с точностью до произвольной комплексной постоянной.
Поскольку в оптике многослойных оптических систем имеют дело только с относительными и усредненными во времени величинами, временные множители можно совсем исключить, а комплексную амплитуду электрического поля на т-й границе
Ym+i Є? р К С (Е? п+1 у N rnH^mj (J считать равной единице.
Введем следующие обозначения: для волны, прошедшей в /-Й слой через (/ — 1) — ю грапицу, E]lі)+ и £$■- — электрическое поле справа от (/ — 1)-й границы и слева от /-й границы соответст-
<• , ,, .. . и Ж-|(Г)
венно; для волны, отраженной в /-и слои от /-и границы, Ьц-і)+ и Е(р —электрическое поле справа от (/ — 1)-й границы и слева от /-й границы соответственно.
Тогда
= У і ехр [і (і; — NjZj) ] ;
ЕР = t; ехр [і (Лі + -х — А>;)] ;
Е(иі1)+ = уj ехр [і (lj — ~х A’jZj-i) ] ;
£(Ьі)+ = tj ехр [* (ftj + "X Nizj-i) ] *
В нашем случае для прошедшей и отраженной волн можно
написать
Ер = ЕР и Ер} = Ер тогда
Е^ = Я^ехр [ і А^;] = ЕР exp (icpj); (1.5)
£(J-1)+ = £j — exp [ — і AVi ] = E(p exp (— iqjj), (1.6)
где Ij — Zj — Zj-i, фj — комплексная фазовая толщина 7-го слоя. Теперь уравнения (1.1) и (1.2) запишутся в виде
ЕР + ЕР = ЕР + ЕР; (1.7)
Nj (ЕР — ЕР) = NM (ЕР — ЕР). (1.8)
Заменив / на (/ — 1) в уравнениях (1.7) и (1.8), с учетом соотношений (1.5) и (1.6) получим
г*(0 і г(г) _______ еЧО 1 Z7(r)
+ Л0*-і)—— Л0*-і)+ + £’0-і)+ї
— ^or-D — -= (E(aPr — £&V) ВД-х,
или
Ep-ir = 7a (1 + Nj/Nj-j) Ep exp (icpj) +
+ Va (1 — A’j/Nhl)EP exp (— icpj);
Д&и — = V* (1 — AVA^-i) Ep exp (i(Pj) +
+ Va (1 + Nj/Nhl) EP exp (— гф;).
Если всего m слоев, то граничные условия выглядят так:
е% = і; еР+ = о,
ИЛИ
Е*~ = г/2 (1 + Nn+1/Nm); Е$- = v2 (1 — Nn^jNrn).
Теперь можно определить амплитудный коэффициент отражения для (у 1)-й границы раздела
_ (1 —Nj/Nj-!) Ер exp (tq? j) + (1 +Ni/Nhl) Е(р exp (— tify) _
(1 — f ДуД^) E<}‘J exp(iqy + (1 — N^/N^) E<p exp (_ i<p.)
где /і_! = —5’~[1]- jV^ |
_ NjVWj-! + Nj) b rj-exp (— 2iq>j)
Аналогично получаем комплексный амплитудный коэффициент пропускания для (/ — 1)-й границы
где gj-! = 2Nj-diN)-! — f Nj).
Эту же теорию можно распространить на случай наклонного падения света [27].
Решение уравнений Максвелла для случая наклонного падения света может быть представлено в виде компактной системы уравнений при сохранении прежних обозначений, если ввести понятия «эффективный показатель преломления» и «эффективная фазовая толщина», что позволяет получить математически корректные результаты.
В простейшем случае наклонного падения света на границу раздела двух сред легко видеть, что поперечное сечение у преломленного пучка отличается от сечения падающего пучка, а у отраженного пучка не изменяется. Очевидно, в этом случае определение коэффициентов отражения и пропускания через вектор Пойнтинга не согласуется с законом сохранения энергии, поскольку сумма этих коэффициентов будет отлична от единицы (100%). Эта несогласованность устраняется, если определить коэффициенты отражения R и пропускания Т через нормальную компоненту вектора Пойнтинга для каждого из лучей, т. е. через
световой поток, отнесенный к единице площади. Нормальные компоненты вектора Пойнтинга удобно выразить через тангенциальные компоненты векторов электрического и магнитного полей. При наклонном падении света необходимо учитывать также направление колебаний векторов поля. При этом представляют интерес только два независимых направления, поскольку все остальные в силу принципа суперпозиции можно представить как линейную комбинацию этих двух. Будем рассматривать s-поляризацию, когда вектор электрического поля колеблется в плоскости, перпендикулярной плоскости падения, и р-поляри — зацию, когда вектор электрического поля колеблется в плоскости падения, т. е. в плоскости (у, z).
Пусть угол падения равен Хо — Тогда выражения для тангенциальных компонент полей в любой точке /-го слоя по форме совпадают с уравнениями (1.1) и (1.2), если
а) опустить множители, описывающие зависимость от у, которые в данном рассмотрении не нужны;
б) заменить Nj в экспоненциальных членах па NjCos%j, где
где
в) заменить Nj перед фигурной скобкой в уравнении (1.2) на —N j/cost j, если р-поляризация, или на N jcosxj, если s-поляризация.
Условия непрерывности на границах раздела не изменяются. Вводится эффективное значение фазовой толщины /-го слоя, равное q>jCos%j для обеих поляризаций.
1.2.
Направленное изменение оптических свойств поверхности твердых тел с целью получения необходимой селективности в широком интервале спектра достигается, как правило, путем оптимального сочетания характеристик подстилающей поверхности и многослойного покрытия.
Эта задача близка к проблеме просветления оптики, подробно освещенной в ряде фундаментальных работ [21—281. Однако просветление оптики ограничивается в основном видимой (0,4— 0,75 мкм) частью спектра и использованием, следовательно, только тонких диэлектрических пленок интерференционной толщины, прозрачных в той области спектра, где необходимо получить эффект просветления (в последнее время большое внимание уделяется и просветлению оптических материалов для инфракрасной оптики [25, 28, 29]).
Многослойное селективное покрытие для преобразователей солнечной энергии может состоять как из набора прозрачных диэлектрических слоев строго определенной толщины (например, кратной U4), так и включать в себя частично поглощающие слои, а также слои произвольной, в том числе неинтерференционной, толщины. Необходимость использования столь сложных по структуре многослойных покрытий вызвана тем, что с помощью селективного покрытия требуется получить строго определенное сочетание оптических характеристик в очень широком интервале спектра (например, от 0,2 до 30 мкм).
В настоящей главе показаны в общем виде выводы теории тонких интерференционных пленок как для полностью прозрачных, так и для частично поглощающих слоев, а кроме этого, приведены примеры расчета более сложных систем, включающих слои с произвольной неинтерференционной толщиной. Каждый из примеров будет иллюстрироваться результатами расчетов селективных поверхностей и покрытий применительно к конкретному преобразователю солнечной энергии.
1.1.
К полезному использованию солнечной энергии привлечено в настоящее время внимание большого числа исследователей во всем мире. Весьма заманчивым является экологически чистое превращение в электричество и тепло энергии солнечных лучей, и вполне обоснованно, что на солнечную энергетику возлагаются сейчас большие надежды [1—5]. Резко возрос интерес как к теоретическим, так и к прикладным разработкам в области преобразователей солнечного излучения.
Всесторонне исследуются как фотохимические и биологические (диссоциация воды на водород и кислород, ускоренное производство органического топлива за счет фотосинтеза и др.), так и физические (с помощью полупроводников, тепловых машин и т. д.) способы использования солнечной энергии, причем последние в настоящее время в несколько раз (а то и в десятки раз) эффективнее.
Среди физических способов [61 преобразования солнечного излучения в другие виды энергии можно выделить несколько наиболее перспективных: теплоэнергетический [7], в котором используется трехступенчатая система концентратор солнечного излучения — высокотемпературный теплоприемник — тепловая машина, термоэлектрический 18], термоэмиссионный [9] и фотоэлектрический [10].
Разработка теплоэнергетического метода преобразования, использующего хорошо известные в теплоэнергетике узлы, такие, как тепловые машины, была начата еще в прошлом веке. В 1878 г. на Всемирной выставке в Париже от концентратора с паровым котлом, установленным в его фокусе, работал печатный станок, выпускавший в час 500 экз. газеты «Солнце». В 50-х годах нашего столетия в СССР [11] и в 70-х годах в США [12] и Японии [13] выполнено несколько проектов больших солнечных электростанций с центральным котлом, установленным на высокой башне. Считается вполне реальным, что теплоэнергетический способ позволит преобразовывать солнечную энергию в электрическую с КПД, превышающим 20%.
Столь же высоких результатов удалось достичь в последнее время на практике в фотоэлектрическом методе преобразования 114]. Тем самым открываются возможности широко использовать
на Земле полупроводниковые солнечные батареи, которые в течение вот уже почти 20 лет, начиная с 1958 г. [15J, служили надежным источником электроэнергии на борту космических аппаратов. Солнечные батареи еще сравнительно дороги, однако создание матричных фотопреобразователей, способных эффективно преобразовывать солнечное излучение сверхвысокой плотности [16], открывает возможность резкого снижения стоимости получаемой электроэнергии за счет использования дешевых концентраторов.
Преобразователи солнечной энергии, основанные на различных физических принципах, имеют три оптические поверхности: отражающую поверхность концентратора, приемную поверхность фото — или термопреобразователя и теплоизлучающую поверхность радиатора-охладителя. Тепловой баланс каждой из этих поверхностей сложен и многообразен даже в том случае, когда преобразователь солнечной энергии работает в условиях исключительно радиационного теплообмена (например, в космосе или в вакууми — рованной оболочке на Земле). Оптические поверхности преобразователей солнечной энергии являются приемником и источником теплового излучения в далеких друг от друга областях спектра. Это обстоятельство, усложняющее тепловые расчеты, позволяет в то же время влиять одновременно как на тепловоспринимающие, так и на теплоизлучающие свойства поверхностей, значительно изменяя их, причем зачастую в противоположном направлении. Иными словами, появляется возможность управлять характеристиками оптических поверхностей путем придания им селективных (резко отличных в соседних спектральных интервалах) оптических свойств и повышать тем самым КПД преобразователей солнечной энергии. Для достижения этой цели могут быть использованы как механическая обработка поверхности (например, созданием микрорельефа определенной геометрической формы), так и нанесение однослойных и многослойных селективных оптических покрытий [17].
Селективные оптические покрытия позволяют изменять тепловой баланс поверхностей и аппаратов (особенно в космосе в условиях исключительно радиационного теплообмена), защищать полупроводниковые приборы от воздействия корпускулярной радиации, получать практически любое распределение коэффициента отражения от оптической поверхности, добиваться просветления, т. е. уменьшения отражения без поглощения света самим покрытием, в области спектральной чувствительности полупроводниковых и оптических приборов. В наиболее сложных случаях, например при работе солнечных батарей в космосе, селективные оптические покрытия должны решать все перечисленные выше задачи одновременно. Сложной проблемой является получение покрытий, обладающих не только необходимыми оптическими характеристиками, но и полностью сохраняющих их при длительной эксплуатации в космических или земных условиях, в связи с чем свойства селективных покрытий и поверхностей должны очень слабо изменяться при длительном воздействии ультрафиолетового излучения Солнца, корпускулярного облучения, микро — метеоритных потоков, глубокого вакуума, повышенной влажности и резкого термоциклирования в вакууме или па воздухе.
В результате исследований, выполненных в разных странах мира в основном в последнее десятилетие, для каждого типа преобразователей солнечной энергии удалось создать покрытия, близкие по свойствам к оптимальным и отличающиеся высокой стабильностью.
Как будет показано в книге, селективные покрытия позволяют сохранить в теплоприемнике до 90% энергии падающего солнечного излучения, почти на 50% повысить КПД фотогенераторов, в десятки и сотни раз увеличить срок активного существования солнечных батарей в радиационных поясах Земли.
Разработанные селективные поверхности и покрытия находят широкое применение не только в области преобразования солнечной энергии, ной в полупроводниковых источниках и приемниках когерентного излучения [181, радиаторах космических аппаратов [19], детекторах ядерных частиц [20] и во многих других областях современной техники.
Можно с уверенностью сказать, что теоретическое обоснование и разработка селективных оптических поверхностей и покрытий представляют новое направление в области преобразования энергии, имеющее большое научное и практическое значение.
В природе нет поверхностей, оптические свойства которых были бы неселективными в очень широком диапазоне спектра. Все поверхности в той или иной степени селективны. Окраска окружающих предметов — один из наиболее заметных примеров природной еелективности. Поглощая часть лучей из видимого участка спектра, поверхность тел или покрывающая ее краска отражает остальную часть излучения, определяющую цвет поверхности. Во многих случаях поверхность, которая кажется нашему глазу неселективной — белой, черной пли серой,— резко изменяет свои свойства при переходе к инфракрасному или ультрафиолетовому интервалу спектра.
Как правило, селективность оптических свойств поверхности функциональна — она направлена на полезное изменение теплового баланса тела или на помощь фотохимическим или биологическим процессам внутри природного объекта. В природе были обнаружены случаи «автоматического» регулирования селективных свойств поверхности. Так, измерения оптических свойств листьев некоторых пород деревьев в зависимости от окружающих температурных условий показали, что в холодную погоду листья начинают сильнее поглощать инфракрасное солнечное излучение, в то время как в жаркие месяцы в этой области спектра увеличивается отражение, позволяя уменьшить испарение влаги с поверхности листьев.
Бесконечное разнообразие природных и искусственных селективных поверхностей (как с неизменными, так и с изменяющимися иод действием внешних условий оптическими свойствами) не позволило назвать эту книгу просто и лаконично: «Селективные поверхности». Подобное название обязывало бы рассмотреть хотя бы кратко столь обширный круг явлений, что это не удалось бы сделать на страницах одной книги.
Книга посвящена селективным поверхностям, используемым в одном из наиболее актуальных направлений современной техники — при создании преобразователей энергии солнечного излучения, на которые в недалеком будущем будет возложена задача получения значительной части необходимой человечеству тепловой и электрической энергии, и является первой монографией в этой области.
Преобразователи солнечной энергии работают в условиях постоянного взаимодействия нескольких лучистых потоков: прямого и рассеянного солнечного излучения; солнечного излучения, зеркально отраженного концентраторами; собственного теплового излучения рабочей и темновой поверхностей самих преобразователей солнечного излучения; тепловых потоков, переизлу — чаемых поверхностями теплосброса (радиаторами) и прозрачной тепловой изоляции. Селективные поверхности с оптимальными оптическими характеристиками позволяют изменить тепловой баланс преобразователя в необходимом направлении и существенно увеличить эффективность преобразования энергии солнечного излучения в тепловую и электрическую.
Основная цель настоящей монографии состояла в том, чтобы показать, как могут быть созданы оптические поверхности с селективными свойствами. Автор не ограничился обзором и анализом свойств разнообразных оптических поверхностей, применяемых в солнечной энергетике. В монографии показаны пути направленного изменения оптических характеристик поверхностей, способы придания им селективных свойств, позволяющих максимально увеличить КПД и улучшить стабильность параметров разнообразных типов преобразователей солнечной энергии. Рассмотрены все этапы создания селективных поверхностей — от теоретической оптимизации, указывающей предельные возможности любого из применяемых методов, до результатов эксперимента и практического использования.
Теоретическая оптимизация и основные методики расчета приводятся в главе 1. В главе 2 рассмотрены оптические селективные поверхности преобразователей солнечной энергии в электрическую, причем основное внимание уделено полупроводниковым фотоэлектрическим преобразователям, позволившим обеспечить многолетнюю бесперебойную работу космических аппаратов. В главе 3 показаны пути получения селективных поверхностей для преобразователей энергии солнечного излучения в тепловую, таких, например, как коллекторы «солнечных домов», обеспечивающие отопление и кондиционирование домов энергией Солнца. В главе 4 монографии рассмотрены оптические поверхности комбинированных преобразователей энергии солнечного излучения одновременно в тепловую и электрическую. Эти преобразователи обладают наиболее высоким суммарным КПД, и перспективы их широкого применения в ближайшем будущем несомненны.
Автор выражает искреннюю признательность за помощь в подготовке книги В. II. Матвееву, И. П. Гавриловой, М. В. Татарен — ковой, Ю. Ы. Ксендзацкой и пользуется возможностью поблагодарить сотрудников, студентов, аспирантов, коллег за творческое участие в исследованиях и ответственного редактора — за внимательное и благожелательное отношение к этой монографии.