ПОЛУЧЕНИЕ ЛИСТОВ ИЗ ПОРОШКА МЕТОДОМ ЗОННОЙ ПЛАВКИ

Основные принципы и технологические схемы

хема процесса SSP представлена на рис. 9.3. Исходный порошок кремния с размерами частиц от 150 до 500 мкм высыпается из воронки ровным плоским слоем на движущиеся кварцевые или кремниевые пластины 4 (рис. 9.3). Толщина исходного слоя — около 700 мкм. Под­держивающие пластины с порошком кремния транспортируются в зону сплавления 2 при помощи кварцевых роликов. Под действием радиа­ционного теплового потока верхний слой порошка расплавляется и свя­зывает частицы в ленту-заготовку. При этом жидкая фаза не достига­ет поддерживающих пластин, так что они легко отделяются от полу­ченной ленты-заготовки. После отделения поддерживающих пластин

ПОЛУЧЕНИЕ ЛИСТОВ ИЗ ПОРОШКА МЕТОДОМ ЗОННОЙ ПЛАВКИ

Рис. 9.3. Схема выращивания кремниевой ленты способом SSP [2].

I — зона плавления кристаллизации; 2 — зона поверхностного плавления; 3 — зона засы­пания порошка; 4 — поддерживающие пластины (конвейер); J> — галогеновая лампа; б — готовая поликристаллическая леита.

і

лента-заготовка идет по краевым опорам. Расплавление производится фокусированием света линейных галогеновых ламп 5 на порошковый слой и на ленту-заготовку с помощью отражателя. В следующей зоне 1 в заготовке полностью проплавляется срединная часть ленты между опорами. Нерасплавленные края, поддерживающие ленту 6, в дальней­шем отрезаются. Скорость вытягивания ленты достигала 2,5 см/мин.

Добавить комментарий

Ваш e-mail не будет опубликован. Обязательные поля помечены *