Как выбрать гостиницу для кошек
14 декабря, 2021
Одностороннее охлаждение растущего кристалла приводит к тому, что фронт кристаллизации (ФК) отклоняется от положения, перпендикулярного направлению вытягивания. В результате угол между направлениями скоростей роста и вытягивания становится меньше 180° (см. рис. 3.2), а передний край растущего кристалла приобретает форму клина. В этом случае удается увеличивать скорость вытягивания кристалла и производительность установки при одновременной возможности уменьшения скорости кристаллизации и улучшении качества Si-лент и пластин. Однако в результате наклонного ФК образуется столбчатая зеренная структура ленточного кристалла. Форма клина обычно реализуется в методах литья, но наиболее интересна она при выращивании на затравку.
Ленты на затравку можно выращивать как с поверхности расплава (способы HRG, LASS), так и внутри кристаллизатора (HCRP).
Способы HRG и LASS аналогичны; первый разрабатывался в Японии фирмами Toyo Silicon Co. Ltd., Japan Silicon, Nippon Silicon, второй — в США фирмой Energy Material Corp. Однако идея была предложена в [1]. Способы основываются на высоком значении поверхностного натяжения жидкого кремния и уменьшении плотности кремния при кристаллизации (см. приложение 2). Это позволяет кремнию не переливаться через верхнюю кромку одной из стенок тигля, расположенной несколько ниже уровня расплава, а кристаллизующейся ленте — плавать на поверхности (см. рис. 3.2, а).
Способ HCRP разработан фирмой Hoxan (Япония) и отнесен нами к методу РК (см. рис. 3.3) по причине выращивания ленты на затравку. Однако схема поступления расплава кремния к фронту кристаллизации и вообще использование кристаллизатора указывают на литейный процесс, что отражено в названии способа. Таким образом, данный способ является как бы пограничным между методом выращивания на затравку и методом литья. Способ HCRP может оказаться наиболее перспективным, поскольку соединяет в себе преимущества того и другого методов.