Как выбрать гостиницу для кошек
14 декабря, 2021
В соответствии с предложенной классификацией (см. гл. 3) в данной главе рассмотрены различные варианты способа Степанова (ST) — одного из первых способов, которым, были получены тонкие кремниевые ленты [1-7]. Приоритет объясняется отчасти тем, что он был разработан ранее большинства других способов, а также тем, что он получил достаточно полное теоретическое обоснование [8, 9] благодаря работам российских ученых. Этому способствовала также организация большого числа конференций, посвященных получению профилированных изделий непосредственно из расплава, как в России (в СССР), так и за рубежом [1, 4]. В результате данный способ — прямой вариант способа Степанова — оказался наиболее исследованным, широко описан в литературе и нашел наибольшее практическое применение, в частности для получения кремниевых пластин для солнечных элементов. Основные фирмы и разработчики: Россия — ФТИ РАН, ИФТТ РАН, ВНИИЭТО, Гиредмет и др.; США — Mobil Solar Energy Corp., IBM System Production Division; Япония — Hitachi Ltd.
Одной из разновидностей ST является обратный способ Степанова (IS), который отличается от "прямого" тем, что кристалл вытягивается вниз (см. рис. 3.1, б), а в основных своих чертах они подобны (сравн. с рис. 3.1, а). Первые публикации по IS-способу относятся к 1977 г. [1, 3, 5, 7, 10], где описывается разработка RCA Laboratories (Princeton, NJ) США. Одновременно этот способ разрабатывался в России; здесь он имеет определенные особенности. Еще он известен под названием ВОТ-метода (выращивание в окислительной среде в направлении силы тяжести) [11]. Первые публикации в России относятся к 1978 г. (см. в [12]).
ST — и IS-способы относятся к вертикальному варианту реализации; возможен и горизонтальный вариант [9], однако для получения кремниевых лент он не использовался.