ПОЛУЧЕНИЕ ПЛАСТИН НЕПОСРЕДСТВЕННО ИЗ РАСПЛАВА

Большие потери при резке моно — и поликристаллических слитков кремния на пластины заставляли и заставляют исследователей искать и разрабатывать способы, оборудование и технологии получения крем­ниевых пластин "непосредственно из расплава". Такие исследования и разработки интересны и важны тем более, что и моно-, и поликристап — лические литые слитки исходно получаются из расплава, т. е. проходят стадию жидкого состояния кремция. К настоящему времени предложе­но и опробовано более 20 таких способов, довольно разнородных. Формообразование плоского слоя расплава достигается за счет сил поверхностного натяжения расплава, постоянного контакта расплава с формообразователем (ФО) в процессе кристаллизации, формы предва­рительной заготовки.

В разных способах формообразование осуществляется как при по­мощи отдельного фактора, так и совместного использования несколь­ких факторов.

С помощью сил поверхностного натяжения, передающих расту­щему кристаллу форму ФО или создающих форму, работают способы Степанова (прямой — ST, EFG, CAST, обратный — IS), стабилизации краев пленки (при помощи дендритов — D-Web или струн — ESR, ESP), роста с поверхности (HRG, LASS). Постоянный контакт с ФО обеспе­чивает работу всех литейных способов: роста в кристаллизаторе (HCRP, HSCT), литья на подложки (SOC, SCIM, RAD, RAFT, RGS, RCSR, RQ). Силами поверхностного натяжения и постоянным контак­том с ФО осуществляется рост лент в способах литья: на ткань — TSE, на сетку — S-Web. Способы RTR, SSP, EPR сохраняют форму предвари­тельной заготовки за счет сил поверхностного натяжения, а способ BRG — за счет трех формообразующих факторов: поверхностного на­тяжения, ФО в виде подложки и предварительной заготовки ленточной формы.

Прежде всего, большинство способов непосредственного получе­ния листов и/или лент кремния могут быть объединены в методы вы­ращивания на затравку и методы литья. Различие их состоит в следую­щем. При выращивании на затравку только наиближайшая к затравке часть свободной поверхности расплава вступает в непосредственный контакт с привлеченным извне материалом затравки, и кристаллизация остального расплава происходит на закристаллизовавшуюся ранее часть изделия. При литье же плоских изделий большая часть поверхно­сти расплава вступает в контакт с материалом формы, которая является в дальнейшем носителем кристаллизующегося вещества. При этом обычно скорость кристаллизации в способах литья выше, чем при за­травочном росте, что объясняется, в частности, более высокой интен­сивностью теплоотвода.

Несколько обособленно от этих двух методов находятся способы, которые можно объединить в метод локального плавления плоской заготовки. При этом способы получения заготовки могут принципи­ально различаться.