Основные принципы

Схема выращивания кремниевой ленты способом лазерного пере плава (RTR) включает два плоских лазерных пучка, направляемых4 симметрично с противоположных сторон ленточной заготовки (рис. 9.1). Расплавленная зона создается по всей ширине заготовки, стабиль­ность обеспечивается равномерным распределением плотности потоков лазерного излучения (и потоков тепла).

Геометрия заготовки определяет форму мениска в расплавленной зоне и форму ленты аналогично способу Степанова (см. рис. 4.2, в, д). Толщина ленты определяется также скоростью вытягивания. Отличием RTR-способа является наличие механизма подачи (подъема) заготовки в точку "встречи" лазерных пучков и соответствующей системы регу­лирования.

По схеме рис. 9.1 может быть "переплавлена", очевидно, любая не очень толстая заготовка в виде длинных пластин или лент, изготовлен­ных любым другим способом из рассмотренных в обзоре. Однако в [1] проводились опыты со специальным исходным материалом, получав­шимся химическим осаждением из газовой фазы (способ CVD).