ЛОКАЛЬНЫЙ ПЕРЕПЛАВ ПЛОСКИХ ЗАГОТОВОК

В большинстве разработанных способов получения кремниевых лент так или иначе используется тигель с расплавом и соответствую­щие системы нагрева, однако наличие тигля и сопутствующих систем не обязательно. Среди бестигельных необходимо прежде всего отме­тить способ RTR с лазерным плавлением заготовки, разработанный фирмой Motorola (США) [1]. Во многом он аналогичен бестигельной зонной плавке (см. рис. 3.4) и реализован также в вертикальном вари­анте.

Способ SSP [2-4], разработанный в Fraunhofer Institut fur Solare Energiesysteme (Германия), относится к горизонтальному варианту ме­тода ЛПЗ и, если не по технологической реализации, то по сути пред­ставляет собой горизонтальный аналог RTR.

Способ BRG является относительно новым и содержит некоторые характерные черты методов РК, но из-за локального плавления началь­ной плоской заготовки отнесен нами к методам ЛПЗ (см. рис. 3.3). Раз­работан способ в фирме Energy Materials Research (США) [5].

Способ EPR (INSА — Франция) существенно отличается от выше­перечисленных тем, в первую очередь, что локальному плавлению под­вергается не ленточная, а листовая заготовка.

Способы, представленные в методе ЛПЗ, характеризуются очень различающимися техническими решениями. Так, для расплавления за­готовки используются лазер (RTR), мощные галогеновые лампы (SSP), прямой электронагрев (BRG), электронный луч (EPR). В то же время имеет место общий недостаток этих способов: высокие термические напряжения, связанные с локальным плавлением и быстрым затверде­ванием. Однако оригинальность технических решений с использовани­ем нестандартного оборудования делает эти способы очень интересны­ми.