ВЫРАЩИВАНИЕ ЛЕНТЫ НА НЕПРЕРЫВНУЮ ПОДЛОЖКУ

Схема способа RGS представлена на рис. 8.3. Рост ленты кремния осуществляется при горизонтальном движении подложки-носителя под тиглем без дна, играющим одновременно роль формообразователя и определяющим ширину получаемой ленты [5]. Рост ленты начинается внутри тигля 1, а заканчивается под наружным мениском жидкого кремния 2, образующимся за счет вытягивания расплава движущимися подложкой и лентой. Большая площадь соприкосновения межфазной границы с подложкой и хороший контакт с графитом обеспечивают высокую скорость теплоотвода в подложку и малый угол наклона рос­тового фронта. После охлаждения кремниевая лента отделяется от под­ложки и последняя может быть использована многократно.

Основным достижением способа является очень высокая скорость вытягивания — до 400-900 см/мин. Толщина выращиваемых лент со­ставляла 200-500 мкм при ширине 10 см. Зерна в ленте имели столбча­тую форму и достигали около 1 мм в диаметре. Высокая плотность дислокаций (108 см-2) может быть снижена до 104 см-2 при помощи специальных термообработок [2]. Эффективность получаемых на ленте СЭ составляла 10% при низкой себестоимости материала [2, 5].

ВЫРАЩИВАНИЕ ЛЕНТЫ НА НЕПРЕРЫВНУЮ ПОДЛОЖКУ

Рис. 8.3. Схема процессов выращивания кремниевой ленты способом RGS [5]. 1 — формообразователь; 2 — наружный мениск расплава; 3 — расплав кремния;

4 — подложка; 5 — кремниевая лента.