Рис. 5.3. Схема цилиндрической печи для выращивания междендритной ленты кремния [5].

1 — направление вытягивания; 2 — междендритный плоский кристалл; 3 — тепловой экран;! 4 — расплав кремния; 5 — кварцевый тигель; 6 — молибденовые подставки; 7 — сапфи­ровая трубка с защитой; 8 — кварцевая труба печи; 9 — поток аргона; 10 — ВЧ-индуктор.

w

Рис. 5.4. Схема печи вытянутой формы, соответствующей геометрии темпера­турного поля (рис. 5.2) в процессе выращивания междендритной ленты [5].

I — верхние тепловые защитные экраны; 2 — отверстие для подпитки расплава; 3 — ме*’ дендритный плоский кристалл; 4 — ВЧ-индуктор; 5 — экраны; 6 — подставка.

Рис. 5.5. Схема системы лазерного контроля уровня расплава [4].

I — уровень расплава; 2 — лазер; 3 — фотодиод; 4 — усилитель; 5 — детектор интенсивно­сти; 6 — детектор положение/интенсивность; 7,8 — цифровой интегратор; 9, 10 — цифро­вой дискриминатор; II — отношение; 12 — задатчик уровня расплава; 13 — задатчик сме­шения скорости подачи гранул; 14 — механизм подачи; 15 — подача гранул.