МЕТОД ЛОКАЛЬНОГО ПЛАВЛЕНИЯ ПЛОСКОЙ ЗАГОТОВКИ

К способам локального плавления плоской заготовки в первую очередь относится зонная плавка различной технологической реализа­ции. В этом случае жидкая фаза разделяет заготовку и изделие на две части (рис. 3.4). Во-вторых, сюда входят способы, когда жидкая фаза по периметру окружена твердой заготовкой, а последовательное расплав­ление осуществляется благодаря сканированию. Общим для всех этих способов является предварительное изготовление плоской (ленточной или листовой) заготовки. В качестве нагревающих устройств могут применяться источники индукционного нагрева, нагреватели сопротив­ления, мощные световые источники, лазеры, электронные лучи и т. п. Обычным недостатком таких способов является наличие в изделиях высоких термических напряжений. К методу ЛПЗ относятся (см. рис. 3.3) бестигельный зонный переплав ленточной заготовки — RTR (Ribbon То Ribbon); получение кремниевых листов из слоя порошка методом зон­ной плавки — SSP (Silicon Sheet from Powder); горизонтальный способ

МЕТОД ЛОКАЛЬНОГО ПЛАВЛЕНИЯ ПЛОСКОЙ ЗАГОТОВКИ

1

3

2

Рис. 3.4. Схема бестигельной плавки.

1 — ленточная заготовка; 2 — растущий ленточный кристалл; 3 — жидкая фаза.

выращивания кристалла путем засыпания кремниевого порошка в рас­плавленную зону — BRG (Bulk to Ribbon Growth); электронно-лучевое плавление прессованного порошкового листа — EPR (Electron Powder Ribbon).

г