Как выбрать гостиницу для кошек
14 декабря, 2021
Классификация способов получения л-Si впервые была предложена в работе [1]. В ней кратко рассмотрены практически все известные способы. Они подразделялись на две основные группы: способы выращивания на затравку и способы литья. Каждая из этих групп делилась на две подгруппы:
1) способы выращиванш на затравку — в которых направление скорости кристаллизации (роста) vK противоположно направлению скорости вытягивания vB, а направления vK и бв различаются на угол меньше 180°, что приводит к приобретению кристаллом формы клина вблизи фронта кристаллизации (ФК);
2) способы литья — литье на подложки одноразового или многоразового использования.
Такая классификация или совсем не может включить в себя ряд способов, или относит способы, обладающие общими существенными отличительными признаками, к разным группам и подгруппам (такие группы и подгруппы в дальнейшем называются методами). Это касается и способов локального плавления плоской заготовки. Как было уже отмечено в гл. 2, необходимо учитывать и пространственную ориентацию роста [2], так как она существенным образом влияет на устойчивость технологического процесса. В то же время близкие способы могут быть разделены также по принципам формообразования. Это, например, относится к способам, использующим фильеру, и способам, стабилизирующим и ограничивающим рост на краях ленты. Таким образом, в данной главе предлагается новая, более широкая, классификация способов получения кремниевых лент и листов, чем в [1] и [2]. Она позволяет более детально рассмотреть имеющиеся способы, отметить и проанализировать общие и характерные особенности.